Máy bơm chân không - phân loại, nguyên lý hoạt động

Máy bơm chân không (Vacuum Pump) là thiết bị dùng để hút và loại bỏ không khí hoặc các loại khí khác khỏi một không gian kín, nhằm tạo ra môi trường chân không – tức là môi trường có áp suất thấp hơn áp suất khí quyển.

Nguyên lý hoạt động của máy bơm chân không

Máy bơm chân không hoạt động dựa trên nguyên lý chênh lệch áp suất:

• Khi rotor quay, thể tích buồng bơm thay đổi liên tục, tạo ra vùng áp suất thấp.

• Không khí hoặc khí trong không gian cần hút bị đẩy vào buồng bơm, sau đó bị nén và thải ra ngoài, giúp giảm dần áp suất bên trong thiết bị hoặc hệ thống.

Phân loại máy bơm chân không

1. Theo nguyên lý làm việc

• Bơm chân không cơ học (Mechanical Vacuum Pump):
  Dùng các chi tiết cơ khí để hút khí, gồm:

  • Bơm cánh gạt (Rotary Vane Pump) – phổ biến, giá rẻ, bảo dưỡng dễ.

  • Bơm piston (Piston Pump) – áp suất cao, dùng trong ngành công nghiệp nặng.

  • Bơm trục vít (Screw Pump) – hoạt động êm, không dầu, phù hợp cho ngành thực phẩm và y tế.

• Bơm chân không thể tích (Roots Pump, Claw Pump):
  Tạo áp suất thấp bằng cách quay hai rotor hình đặc biệt – không tiếp xúc, không dầu.

• Bơm chân không phân tử (Diffusion Pump, Turbo Molecular Pump):
  Dùng cho các ứng dụng yêu cầu chân không siêu cao như điện tử, bán dẫn, phòng thí nghiệm.

2. Theo môi trường làm việc 

• Bơm chân không khô (Dry Vacuum Pump): không sử dụng dầu, sạch, ít bảo trì.

• Bơm chân không dầu (Oil Sealed Vacuum Pump): sử dụng dầu bôi trơn và làm kín, hút mạnh hơn nhưng cần thay dầu định kỳ.

Thông số kỹ thuật cơ bản của máy bơm chân không thông dụng